5¿ù 24ÀÏ(Åä)
»ï¼ºÀüÀÚ »ó»ýÇù·Â¼¾ÅÍ Á¶ÁöÇö »ó¹«´Â 21ÀÏ Áß±âÀÌÄÚ³ë¹Ì¿ÍÀÇ ÅëÈ¿¡¼ ¡°Çù·Â¾÷ü°¡ ¿äûÇÏ´Â °Í¸¸ °³º°ÀûÀ¸·Î Áö¿øÇÒ °æ¿ì, ¾÷üµéÀÇ »ý»ê¼ºÀº °³¼±µÉÁö ¸ô¶óµµ ȸ»ç ÀÚüÀÇ ·¹º§ÀÌ ¿Ã¶ó°¡Áø ¾Ê´Â´Ù¡±¸ç ¡°»ï¼ºÀüÀÚÀÇ °¼Ò±â¾÷ À°¼ºÁ¦µµ´Â ¾÷ü¿¡ ±â¼ú, ÀηÂ, ÀÚ±Ý µî ¸ðµç ºÐ¾ß¸¦ Á¾ÇÕÀûÀ¸·Î Áö¿øÇØ Çù·Â»ç°¡ ÇØ´ç ºÐ¾ßÀÇ ±Û·Î¹ú 5À§ ¶Ç´Â ±¹³» 2À§ ÀÌ»óÀÇ ½ÃÀå Áö¹è·ÂÀ» °®°Ô ÇÏ´Â °ÍÀÌ ¸ñÇ¥¡±¶ó°í ¼Ò°³Çß´Ù.
ÀÌ ÇÁ·Î±×·¥À» ÅëÇØ °¡Àå Å« ¼º°ú¸¦ ³½ Çù·Â»ç·Î´Â 2013³â ¸» CMP(Chemical Mechanical Polishing) Àåºñ °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÑ (ÁÖ)ÄÉÀ̾¾ÅØÀÌ ²ÅÈù´Ù. CMP Àåºñ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿¬¸¶¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÇÙ½É Àåºñ Áß Çϳª·Î, ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ(¿øÆÇ) Ç¥¸éÀ» ÆòÆòÇÏ°Ô ¸¸µé¾î ÁÖ´Â ±â°è´Ù. ±×µ¿¾È ±¹³» ±â¾÷ Áß¿¡¼± CMP Àåºñ¸¦ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Â °÷ÀÌ ¾ø¾ú´Ù. ¶§¹®¿¡ »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¹Ì±¹ ¾îÇöóÀ̵å»ç(Þä) µî¿¡¼ ¼öÀÔÇÑ °í°¡ÀÇ CMP Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇß´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØÀÌ ÀÌ·± CMP Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ°Ú´Ù°í ³ª¼± °ÍÀº 2009³â µÎ»ê¸ÞīŨÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ »ç¾÷ ºÎ¹®À» ÀμöÇϸ鼺ÎÅÍ´Ù. 1987³â ¼³¸³µÈ ÀÌ È¸»ç´Â 2000³â´ë Á߹ݱîÁø ¾×Á¤Ç¥½ÃÀåÄ¡(LCD) ºÐ¾ßÀÇ Á¦Á¶ Àåºñ¸¦ ¸¸µå´Â µ¥ ÁÖ·ÂÇß´Ù.
Á¶ »ó¹«´Â ¡°´ç½Ã ÄÉÀ̾¾ÅØÀº CMP ¼³ºñ¸¦ °³¹ßÇØ ¡®°íºÎ°¡°¡Ä¡ Àåºñ¸¦ ±¹»êÈÇϰڴ١¯´Â ÀÇÁö°¡ °Çß´Ù. ±×·¯³ª ÀÚº»µµ dzºÎÇÏÁö ¾Ê¾Ò°í ±â¼ú·Âµµ ¶Ù¾î³ªÁö ¾Ê¾Ò´Ù¡±¸ç ¡°È¥ÀÚÀÇ ÈûÀ¸·Ð Á¦´ë·Î µÈ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇϱâ Èûµç »óÅ¿´´Ù¡±°í ȸ°íÇß´Ù. ±×·¯¸é¼ ¡°À̶§ µçµçÇÑ Á¶·ÂÀÚ°¡ µÅ ÁØ °ÍÀÌ ¹Ù·Î »ï¼ºÀüÀÚ¿´´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 2012³â Çù¾÷À» Á¦¾ÈÇÑ ÄÉÀ̾¾ÅØÀÇ ¿äûÀ» ¹Þ¾Æµé¿©, ÀÚ»çÀÇ ¿£Áö´Ï¾î 6¸íÀ» ÆÄ°ßÇϰí, 300ȸ°¡ ³Ñ´Â ±â¼ú ±³·ùȸ¸¦ ÁøÇàÇß´Ù. ¶ÇÇÑ ÄÉÀ̾¾ÅØÀÌ ½Ã¹ü »ý»êÇÑ CMP Á¦Ç°À» »ï¼ºÀüÀÚ »ý»ê¶óÀο¡¼ ½ÃÇèÇØ º¼ ¼ö ÀÖµµ·Ï Çß´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ ÇÊ¿äÇÑ Á¦¹Ý ºñ¿ë ¿ª½Ã ¸ðµÎ ¹«»óÀ¸·Î Áö¿øÇß´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØ °¼Ò±â¾÷»ç¹«±¹ À强ȣ Â÷ÀåÀº Áß±âÀÌÄÚ³ë¹Ì¿ÍÀÇ ÅëÈ¿¡¼ ¡°´ç½Ã ¿ì¸®°¡ ¿¬±¸¡¤°³¹ßÇÑ ³»¿ëÀ» »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¹Ù·Î Æò°¡ÇØÁà ±â¼ú°³¹ßÀ» »¡¸® ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù¡±¸ç ¡°±×¹Û¿¡µµ Á¦Á¶, ǰÁú, ½Ã½ºÅÛ µî °æ¿µ Àü¹Ý¿¡ °ÉÃÄ ÄÁ¼³ÆÃÀ» ¹ÞÀº °ÍÀÌ È¸»çÀÇ ¿ª·®À» °ÈÇÏ´Â µ¥ Å« µµ¿òÀÌ µÆ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
ÄÉÀ̾¾ÅØÀº À̰°Àº Ȱµ¿À» ÅëÇØ 2013³â ¸» ¿Ü»êÀåºñ¿¡ ºñÇØ »ý»ê¼ºÀÌ ´ëÆø °³¼±µÈ CMP Àåºñ¸¦ ¼±º¸ÀÏ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ÇØ¿Ü Á¦Ç°ÀÌ ÈÛ¾µ´ø ±¹³» ½ÃÀåÀ» ±¹»êÁ¦Ç°À¸·Î ¹Ù²Ü ¼ö ÀÖ´Â Àü±â¸¦ ¸¶·ÃÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ½ÇÁ¦ »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¹Ì±¹°ú ÀϺ»¿¡¼ ±¸¸ÅÇÏ´ø CMP Àåºñ¸¦ ÄÉÀ̾¾ÅØÀÇ °ÍÀ¸·Î ¹Ù²Ù¸é¼ ¾à 300¾ï¿øÀÇ ¼öÀÔ´ëü È¿°ú¸¦ ºÃ´Ù. ÄÉÀ̾¾ÅØ ¿ª½Ã ÀÌ ±â°è·Î Áö³ÇØ ¾à 360¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ¿Ã·È´Ù.
Àå Â÷ÀåÀº ¡°»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÀÌ ÇÁ·Î±×·¥À» ÅëÇØ ¿ÃÇØ ¸»±îÁö ÃÑ 50°³ ±â¾÷À» Áö¿øÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë°í ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°¾ÕÀ¸·Î ´õ ¸¹Àº ±â¾÷ÀÌ ÇýÅÃÀ» º¼ ¼ö ÀÖµµ·Ï »ç¾÷ ¹üÀ§¸¦ È®´ëÇϸé ÁÁ°Ú´Ù¡±°í ÀüÇß´Ù. Á¶ »ó¹« ¿ª½Ã ¡°Çù·Â¾÷ü°¡ °æ¿µÇõ½ÅÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µ½´Â °Íµµ Áß¿äÇÏÁö¸¸ ±â¾÷ÀÇ ¼º°ú°¡ Áö¼ÓµÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï »çÈİü¸®¸¦ ÇÏ´Â °Íµµ ÇÊ¿äÇÏ´Ù°í »ý°¢ÇÑ´Ù¡±¸ç ¡°Çù·Â»çµéÀÌ Àå±âÀûÀ¸·Î ¼ºÀåÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¾È¿¡ ´ëÇØ ÇÔ²² °í¹ÎÇØ ³ª°¡°Ú´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
Áö³ 14ÀÏ Áß¼ÒÇù·Â¾÷ü¿Í °øÁ¤°Å·¡ ¹× µ¿¹Ý¼ºÀå Çù¾àÀ» ½ÃÇà ÁßÀÎ 113°³ ±â¾÷À» Æò°¡ÇØ »ï¼ºÀüÀÚ µî 7°³ ´ë±â¾÷ ÇÁ·Î±×·¥À» ¸ð¹ü»ç·Ê·Î ¼±Á¤ÇÑ °øÁ¤°Å·¡À§¿øÈ¸ÀÇ ÃÖ¹«Áø ±â¾÷°Å·¡Á¤Ã¥°úÀåÀº ¡°µ¿¹Ý¼ºÀå Çù¾àÀº Áß¼ÒÇù·Â¾÷ü»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó Çù¾à ü°áÀÇ ÁÖüÀÎ ´ë±â¾÷ Àڽſ¡°Ôµµ µµ¿òÀÌ µÇ´Â ÀÏ¡±À̶ó¸ç ¡°´ë±â¾÷ÀÌ Çù·Â¾÷ü¸¦ ºñ¿ëÀý°¨ÀÇ ´ë»óÀÌ ¾Æ´Ñ ÀÚ½ÅÀÇ °æÀï·ÂÀ» °áÁ¤Áþ´Â ÆÄÆ®³Ê·Î ÀνÄÇÏ±æ ¹Ù¶õ´Ù¡±°í Çß´Ù.
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨Ï Áß±âÀÌÄÚ³ë¹Ì. ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>
µ¶ÀÚÀǰß
ÃÑ 0 °³ÀÇ ´ñ±ÛÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.