㈜로봇앤드디자인이 개발한 반도체용 투명 웨이퍼 프리 얼라이너 완제품 모습 <사진=경기도>

경기도는 2013년도 경기도 기술개발사업의 지원을 받은 로봇앤드디자인이 반도체용 투명 웨이퍼 프리 얼라이너(Pre Aligner)를 개발하는 데 성공했다고 30일 밝혔다.

 
프리 얼라이너는 반도체의 재료가 되는 얇은 실리콘 판(웨이퍼)의 중심과 위치를 정렬해주는 장치다. 반도체 제조 공정시 반드시 필요한 장비지만 그동안 국내에선 이를 개발한 기업이 없었다.

 
로봇앤드디자인이 개발한 프리 얼라이너는 웨이퍼의 크기와 투명도에 상관없이 정렬이 가능하고, 정밀도와 처리시간 등도 외국산과 비교해 뒤지지 않는다. 이같은 장점에 힘입어 올 상반기에만 46대가 팔리며 4억7000만원의 매출을 올렸다.

박준건 로봇앤드디자인 수석연구원은 “반도체 시장 불황에도 자사가 개발한 프리 얼라이너의 수요가 빠르게 증가하고 있다”며 “개발 필요 적기에 경기도로부터 자금 지원을 받게 돼 좋은 성과를 거둘 수 있었다”고 말했다.

한편 경기도는 2008년부터 기술개발 사업을 실시, 아이디어는 있지만 자금문제로 기술개발에 어려움을 겪는 중소기업을 지원하고 있다. 2015년도 제2차 경기도 기술개발사업의 신청기간은 8월13일까지다. 이 사업에 대한 자세한 정보는 경기도와 경기과학기술진흥원 홈페이지(www.gstep.re.kr)에서 확인할 수 있다.

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